主要规格及技术指标

1.两个不锈钢箱体，箱体一尺寸为1800±10 mm（长）×900±10 mm（高）。左侧箱体宽度为300±10 mm，背面预留一个对接镀膜机的法兰接口。右侧箱体宽度为750±10 mm，底部预留两个直径为100 mm的石英窗口。箱体二尺寸为1200±10 mm（长）×750±10（宽）×900±10 mm（高），底部对接一个旋涂仪。材质为SUS304不锈钢，厚度3 mm。箱体泄漏率≤0.02 vol%/h。

2.T型过渡舱

配备一个T型大过渡舱，一个T型小过渡舱以及一个便捷型小过渡舱。

3.气体净化系统

主机系统采用模块化设计，包含PLC控制器、电路、循环泵、净化柱、操作面板，与手套箱通过波纹管和卡箍连接，详细说明如下：

定制双柱水氧净化系统，可得气体纯度：水含量<1 ppm，氧气含量<1 ppm；

定制可再生有机溶剂吸附装置；

a）含活性炭颗粒吸附材料；

b）吸附饱和后通过再生恢复吸附活性；

c）溶剂吸附材料填充量≥7 kg。

主要功能及特色

在样品制备过程中隔绝水氧