主要规格及技术指标
技术参数：
1.电子束分辨率：
高真空成像，最佳WD
1.0nm@15KV (SE)
低真空成像，最佳WD
1.5nm@10K
主要功能及特色
主要特点：
长寿命高亮度电子枪,寿命保3年,最大电流400nA以上
兼顾超高分辨和大电流
标配的五轴马达驱动全对中样品台
全自动样品更换气锁
全自动样品台监控系统
全自动物镜光阑
多通道显示系统
减速系统标准配置
能量过滤器标准配置
大型仪器管理平台
大型仪器管理平台