主要规格及技术指标

技术指标

1) 扫描能量范围：0~5,000eV；

2) 通过能范围：1-400 eV，并连续可调

3) 能量分辨率：半高宽优于0.45 eV(Ag3d5/2)；灵敏度：2.5Mcps (1.0ev分辨率，Ag3d5/2)，0.4Mcps (0.5ev分辨率，Ag3d5/2)；

4) 单色化X射线源：功率在≤300W时(避免高功率对样品表面带来辐照损伤)可达到最大灵敏度指标；具备20个以上的可移动阳极靶点，确保仪器长期稳定使用(靶点数目越多越好)；

5) 微聚焦单色化光源束斑范围：20-900um，并连续可调，步长不大于10um。

主要功能及特色

该系统能够实现单色化XPS、微区XPS、深度剖析XPS、角分辨ARXPS、REELS反射电子能量损失谱、ISS离子散射谱以及UPS紫外光电子能谱分析等分析功能.