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台阶仪
型 号:P-7 Stylus Profile
生成厂家:KLA
规格:P7
联系人:唐雄贵
电话:15874890720
地址:量子楼104
约
样
主要规格及技术指标
1,测试高度《327um;2,高度分辨率0.01A;3,水平方向分辨率200nm
主要功能及特色
测试微纳结构面形状,适合材料硅片、玻璃、金属等
仪器设备
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湖南师范大学