加热旋转电源、直流偏压电源、电弧电源、复合真空计、罗茨真空泵、冷却水循环机、分子泵、钛靶、钛铝靶、锘靶等。

广泛应用在工具镀和特殊功能镀等领域。利用离子镀技术可以在金属或非金属表面上，涂覆具有不同性能的镀层，采用不同的镀料，能获得表面强化的耐磨镀层、表面密致的耐腐蚀镀层、润滑镀层、各种颜色的装饰镀层以及电子学、光学、能源科学所需的特殊功能镀层。

直径2200mm, 可镀直径1.8米的镜面, 总真空度为0.0015Pa, 电气控制。