高真空有机蒸发薄膜沉积系统

[ 基础信息 ]
生产国家 : 中国
制造厂商 : 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
购置日期 : 2025-06-06
规格型号 : YYDZS035UA02
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 : 202262052S
[ 联系信息 ]
联系人 : 钱川
存放地址 : 量子楼B105
联系电话 :
联系邮箱 :
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :

主要功能及特色 :

主要规格及技术指标 :

极限真空度≤6.6×10-5Pa/抽速40分钟可达到6×10-4 Pa

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[ 开放机时安排 ]
[ 参考收费标准 ]