．工作条件:
1.1电源: 230V (-6%/+10%) / 50Hz (±1%)
1.2 主机功耗：< 3.0 kVA
1.3运行环境温度: 17-23C
1.4运行环境：相对湿度 < 80% (无冷凝)
2．设备用途：
高分辨场发射扫描电子显微镜系统主要用于各种材料的超高分辨微观形貌观察和微区分析。适合分析最广泛的样品范围：从传统的金属材料（包含磁性材料）、断口和抛光断面，到不导电的软物质的微区形貌、成分和相分布分析。
3．技术规格
3.1 电子光学系统
3.1.1 分辨率：二次电子（SE）像
3.1.1.1高真空模式： 15kV时0.5nm；1 kV时优于0.8nm，500 V时优于1.0nm
★3.1.1.2 长工作距离分辨：工作距离10 mm下，1 kV时优于1.0 nm；
3.1.2 放大倍率范围：20 ～ 2,000,000倍 （底片放大，非显示放大）
(根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准)
3.1.3 着陆电压：20V 至 30 kV
3.1.4 电子枪：高稳定度肖特基热场发射电子枪，自动烘烤、自动启动，并配置备用灯丝一根
3.1.5电子束流：1 pA ～ 50 nA，连续可调
★3.1.6 复合物镜系统（电磁透镜、静电透镜），可实现完全无漏磁，可观察磁性材料
3.1.7 物镜光阑：
3.1.7.1物镜光栏应能自加热自清洁
3.1.7.2无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑。
3.1.7.3 12孔光阑片。光阑选择采用马达驱动，无需人工参与。
3.1.8 电子枪维护可以自动烘烤、自动启动。
3.1.9 系统合轴：全自动
3.2 样品室和样品台
3.2.1 样品室：
样品室左右内径340mm
分析工作距离不大于10mm
12个探测器/附件接口
★3.2.2样品台：五轴马达驱动，移动范围必须同时满足：
X≥ 110mm
Y ≥110mm
Z ≥ 65mm
T ≥ -10°～+90°
R = 360°连续旋转
样品台最高承重量高不低于达5.0 kg
3.2.3配备电子束减速模式
3.2.4新型多样品台 (可同时放置平面，截面，预倾斜等样品)
3.2.5 最大可观测样品尺寸：直径≥200mm
3.2.6 集成等离子体清洗
★3.3 探测器：
3.3.1 电子探头：
配备不少于2个背散射电子探测器
镜筒内低电压高灵敏度背散射电子检测器，且可与镜筒内二次电子信号同时独立成像
镜筒内中位二次电子检测器；
镜筒内高位低能量二次电子检测器，具有观察材料电位衬度的功能
极靴下自动伸缩式角度选择大尺寸8分割固体背散射探测器
样品室内ETD二次电子检测器；
3.3.2 样品室IR-CCD相机
3.3.3 Nav-Cam+样品室导航相机
3.4 真空系统
3.4.1完全无油真空系统
3.4.2 涡轮分子泵和2台离子泵
3.4.3 前级机械泵为涡旋泵
3.4.4 样品室真空度：
高真空模式优于6.3×10-6 mbar；
3.4.5 抽真空时间：< 3.5分钟
3.5 数字图像处理系统
3.5.1图像扫描：100%数字化扫描，最大扫描和成像64k x 64k像素
3.5.2电子束驻留时间：0.025 – 25,000µs / 像素
3.5.3 图像显示：1920×1200像素，24” LCD显示器
3.5.4单幅图像显示或4幅图像同时显示（四活动窗口）
3.5.5 图像记录：TIFF（8位，16位或24位），BMP或JPEG可选
3.5.6 SmartSCAN智能扫描软件 (256幅平均或积分，线积分或平均，隔行扫描)，DCFI (漂移补偿幅积分)
3.6 控制和数据处理系统
3.6.1 电镜控制器：工作站并配置控制软件
3.6.2 Windows 10的64位图形操作系统
3.6.3 操作方式：键盘、鼠标
3.6.4 可自动调节：全自动镜筒合轴、全自动图像调整、电子枪对中、真空控制、亮度与衬度、调焦和象散、动态聚焦、倾斜补偿
3.7 标准应用软件
3.7.1 应具有样品台图像导航功能
3.7.2 应具有双击鼠标移动样品功能
3.7.3 应具有鼠标拖曳式放大及对中功能
3.7.4 应具备操作导航功能，自动引导用户完成高分辨观察、分析等操作
3.7.5 应具备Undo/Redo功能
3.7.6 自动图像拍照和在线拼接软件，并可对任意视场进行回溯
3.7.7 PivotBeam选区电子通道衬度成像
3.8 高级应用软件
3.8.1 大尺寸自动采集拼接软件
3.9 集成X射线能谱仪
3.9.1 60 mm2探测器，Mn k-alpha分辨率为129 eV
3.9.2 EDS操作完全集成在电镜用户界面中，由于EDS+SEM紧密集成以及实时谱采集和处理，可以快速获取数据
3.9.3 实时定量EDS面分布，可实现100 ns驻留时间
★3.9.4 基于实时计算机视觉算法处理的SE或BSE图像中识别的样品特征的动态像素合并，动态颜色和阴影检测功能，实时扫描电镜/X射线元素面分布覆盖，可在所有扫描速度下使用
3.9.5 自适应脉冲整形可在宽的输入计数率范围内实现最佳谱分辨率和死时间
3.9.6 自动EDS探测器校准和按需光谱质量验证
3.9.7 先进的EDS分析功能：
–点和ID
–区域分析
–线扫描
–面分布
–数据报告
–工作历史管理
3.9.8 自动谱峰识别和用户辅助手动谱峰识别
3.10 标准配件
应配有进口空压机和冷却循环水系统，分别用于阀门控制和冷却扫描电镜镜筒及其它部件。
磁性样品、非晶样品、绝缘样品都无需喷金，可以直接拍摄清晰的形貌照片。配有能谱EDS功能
无
