1.真空泵
真空度可达2x10-3 mbar，抽速为12 m3/h，配置原装油雾过滤器。
2.水探头
检测范围0-1000 ppm（可转化为ppm在触摸屏上显示)，精度0.2 ppm。专为手套箱气氛检测设计，耐腐蚀，PLC集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上。寿命不低于5年。验收时投标人需提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告。
3.氧探头
检测范围0-1000 ppm，精度0.2 ppm。专为手套箱气氛检测设计，耐腐蚀，PLC集成控制，感测数据直接显示在主机屏幕上，氧探头为电化学燃料电池（不接受氧化锆材质）。寿命不低于5年，验收时供应商需提供相关国家权威部门出具的探头精准度检测报告。

在样品制备过程中隔绝水氧

1.两个不锈钢箱体，箱体一尺寸为1800±10 mm（长）×900±10 mm（高）。左侧箱体宽度为300±10 mm，背面预留一个对接镀膜机的法兰接口。右侧箱体宽度为750±10 mm，底部预留两个直径为100 mm的石英窗口。箱体二尺寸为1200±10 mm（长）×750±10（宽）×900±10 mm（高），底部对接一个旋涂仪。材质为SUS304不锈钢，厚度3 mm。箱体泄漏率≤0.02 vol%/h。
2.T型过渡舱
配备一个T型大过渡舱，一个T型小过渡舱以及一个便捷型小过渡舱。
3.气体净化系统
主机系统采用模块化设计，包含PLC控制器、电路、循环泵、净化柱、操作面板，与手套箱通过波纹管和卡箍连接，详细说明如下：
定制双柱水氧净化系统，可得气体纯度：水含量<1 ppm，氧气含量<1 ppm；
定制可再生有机溶剂吸附装置；
a）含活性炭颗粒吸附材料；
b）吸附饱和后通过再生恢复吸附活性；
c）溶剂吸附材料填充量≥7 kg。