[ 基础信息 ]
生产国家 : 美国
制造厂商 : KLA
购置日期 : 2016-04-13
规格型号 : P-7 Stylus Profile
[ 分类信息 ]
设备类型 :
设备编号 : 1800079S
[ 联系信息 ]
联系人 : 唐雄贵
存放地址 : 量子楼104
联系电话 : 15874890720
联系邮箱 : tangxg@hunnu.edu.cn
[ 附加信息 ]
主要附件及配置 :
电脑、控制软件
主要功能及特色 :
测试微纳结构面形状，适合材料硅片、玻璃、金属等
主要规格及技术指标 :
1，测试高度《327um；2，高度分辨率0.01A；3，水平方向分辨率200nm
